受賞者
C. Grant Willson
1939生まれ · 米国 · 男性
賞
-
2013
日本国際賞 — 素材と生産
情報科学for development of chemically amplified resist polymer materials for innovative semiconductor manufacturing process.
永続的な影響を与える作品に対する表彰
受賞者
1939生まれ · 米国 · 男性
2013
for development of chemically amplified resist polymer materials for innovative semiconductor manufacturing process.